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发明名称 HOT CVD METHOD
摘要
申请公布号 JPH0778776(A) 申请公布日期 1995.03.20
申请号 JP19940153187 申请日期 1994.07.05
申请人 NEC CORP 发明人 UESUGI FUMIHIKO
分类号 H01L21/205;H01L21/26;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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