发明名称 Verfahren zur kontinuierlichen Messung der stofflichen Zusammensetzung des Dampfes einer Schmelze oder eines zu verdampfenden Materials im Vakuum
摘要
申请公布号 DE4304612(C2) 申请公布日期 1995.03.16
申请号 DE19934304612 申请日期 1993.02.16
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V., 80636 MUENCHEN, DE 发明人 KIRCHHOFF, VOLKER, 01324 DRESDEN, DE;GOEDICKE, KLAUS, 01307 DRESDEN, DE;SCHILLER, NICOLAS, 06347 HELMSDORF, DE;NEDON, WOLFGANG, 01099 DRESDEN, DE;SCHILLER, SIEGFRIED, PROF. DR., 01326 DRESDEN, DE
分类号 C23C14/30;C23C14/54;G01N21/62;G01N33/20;H01J37/304;H01J37/305;(IPC1-7):G01N21/66 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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