| 发明名称 |
Method for evaluating semiconductor layer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2281402(A) |
申请公布日期 |
1995.03.01 |
| 申请号 |
GB19940017460 |
申请日期 |
1994.08.30 |
| 申请人 |
* MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
YOSHIHIRO * HISA |
| 分类号 |
G01N27/00;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01N27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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