发明名称 THIN FILM OXIDE SUPERCONDUCTOR AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH0733591(A) 申请公布日期 1995.02.03
申请号 JP19930181241 申请日期 1993.07.22
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SATO TOSHIFUMI;ADACHI HIDEAKI;ICHIKAWA HIROSHI;SETSUNE KENTARO
分类号 C01G1/00;C23C14/08;C30B23/08;C30B29/22;H01L39/02;H01L39/24;(IPC1-7):C30B23/08 主分类号 C01G1/00
代理机构 代理人
主权项
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