| 发明名称 |
Method for providing high-precision volumetric flow at low flow rate and apparatus therefor. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0621523(A3) |
申请公布日期 |
1995.01.25 |
| 申请号 |
EP19940105850 |
申请日期 |
1994.04.15 |
| 申请人 |
GSF FORSCHUNGSZENTRUM FUER UMW |
发明人 |
SCHMIDT KARL-HEINZ;MENACHE GEORG DR;FRISCH HEINZ |
| 分类号 |
B01L99/00;F04B11/00;G05D7/06;(IPC1-7):G05D7/06 |
主分类号 |
B01L99/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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