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发明名称 FORMING ELEMENT SEPARATION REGION OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0722504(A) 申请公布日期 1995.01.24
申请号 JP19930163695 申请日期 1993.07.02
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SUGAWARA FUMIO
分类号 H01L21/76;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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