金属材料表面合金化的方法与设备

摘要

一种通过金属及金属化合物蒸气在被渗金属材料表面渗金属的方法及设备。被渗金属材料放在真空中的阴极上，通入欲渗金属卤化物蒸气，真空室中设有工作发生器使欲渗金属蒸发成蒸气。在阴极及阳极间施以高压电而产生辉光放电。位于阴极的被渗金属材料在辉光放电的作用下渗入欲渗的金属。

主权项

1、一种以欲渗金属与其卤化物反应所得产物的蒸气作为工作气的辉光放电在待渗金属材料表面渗金属的方法，由如下过程组成：真空反应室抽真空使其真空度在13.3pa以上；充入欲渗金属的卤化物蒸气，使之达到13.3Pa-1.33×103Pa的工作压力；接通处于真空室中的由欲渗金属制成的工作金属蒸气发生器的电源，使之在上述工作压力下与上述卤化物蒸气反应，并使其温度升高，反应的产物随之在真空中蒸发并逐渐取代原卤化物蒸气而成为工作气；在放置待渗材料的工作阴极与阳极间加一400-1200V的直流高压使其维持辉光放电；根据需要保持处理温度500-1200℃和处理时间10min以上，从而使待渗材料表面合金化，其特征在于：上述工作气发生器是空心阴极放电装置。