发明名称 PROBE HEAD AND PROBING METHOD
摘要
申请公布号 JPH075196(A) 申请公布日期 1995.01.10
申请号 JP19930146611 申请日期 1993.06.18
申请人 FUJITSU AUTOM LTD 发明人 SUDOU MORISHIROU;YATSUYAMA YASUNORI
分类号 G01R1/06;G01R31/00;(IPC1-7):G01R1/06 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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