| 发明名称 |
Method and apparatus for protecting a substrate surface from contamination using the photophoretic effect |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU6988294(A) |
申请公布日期 |
1994.12.20 |
| 申请号 |
AU19940069882 |
申请日期 |
1994.05.27 |
| 申请人 |
RESEARCH TRIANGLE INSTITUTE |
发明人 |
RAVINDRAN PERIASAMY |
| 分类号 |
B08B7/00;C23C14/56;H01J37/02 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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