| 发明名称 |
METHOD FOR REFORMING THIN LAYER OF METAL OXIDE, ETC. USING LOW ION BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06298546(A) |
申请公布日期 |
1994.10.25 |
| 申请号 |
JP19930312052 |
申请日期 |
1993.12.13 |
| 申请人 |
SAINT GOBAIN BITORAAJIYU INTERNATL |
发明人 |
FURANSOWAAZU RURUBE;DANIERU PIRIA |
| 分类号 |
B01J19/08;C03C17/22;C03C17/245;C03C23/00;C23C14/06;C23C14/58;(IPC1-7):C03C23/00 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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