| 发明名称 |
Appareil pour le dépôt d'un polymère par l'intermédiaire d'un plasma excité par micro-ondes. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2693620(B1) |
申请公布日期 |
1994.10.07 |
| 申请号 |
FR19920008518 |
申请日期 |
1992.07.09 |
| 申请人 |
VALEO VISION |
发明人 |
MONTALAN DOMINIQUE;ROLLAND PASCAL |
| 分类号 |
H01J37/32;(IPC1-7):H05H1/46;C08G77/06;F21M3/02;C23C16/44;F21V7/22 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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