| 发明名称 |
PLASMA MONITOR DEVICE AND PLASMA TREATMENT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06260297(A) |
申请公布日期 |
1994.09.16 |
| 申请号 |
JP19930042799 |
申请日期 |
1993.03.03 |
| 申请人 |
SHIBAURA ENG WORKS CO LTD |
发明人 |
ITO AKIHIKO;MAKABE TOSHIAKI |
| 分类号 |
C23C14/54;H05H1/00;(IPC1-7):H05H1/00 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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