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发明名称 ETCHING MONITORING METHOD AND ITS PATTERN
摘要
申请公布号 JPH06232086(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930015513 申请日期 1993.02.02
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KITA AKIO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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