| 发明名称 |
INTEGRATED CIRCUIT MANUFACTURE CONTAINING SELECTIVE ETCHING OF SILICON AND SILICON COMPOUND |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06224176(A) |
申请公布日期 |
1994.08.12 |
| 申请号 |
JP19930243422 |
申请日期 |
1993.09.30 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> |
发明人 |
DEIBUITSUDO HAWAADO ZUIGAA |
| 分类号 |
C01B33/00;C23F1/24;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/32;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C01B33/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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