发明名称 Arrangement for exposing a substance to a chemically active gaseous plasma
摘要
申请公布号 GB2274947(A) 申请公布日期 1994.08.10
申请号 GB19940001811 申请日期 1994.01.27
申请人 * UNITED KINGDOM ATOMIC ENERGY AUTHORITY 发明人 KEITH HOWARD * BAYLISS;CHRISTOPHER NEIL * GRIFFITHS;DAVID * RAYBONE;JONATHAN * STEDMAN
分类号 A61L2/14;(IPC1-7):H01T19/00 主分类号 A61L2/14
代理机构 代理人
主权项
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