| 发明名称 |
METHOD OF FORMING HIGHLY PURE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06205924(A) |
申请公布日期 |
1994.07.26 |
| 申请号 |
JP19930271158 |
申请日期 |
1993.10.05 |
| 申请人 |
PURAKUSUEA TECHNOL INC |
发明人 |
KURISUTEIAN FURIIDORIHI GOTSUTSUMAN;RABI PURASADO;HOOMAA FUEI |
| 分类号 |
B01D53/22;B01D61/58;B01J19/00;C01B21/04;(IPC1-7):B01D53/22 |
主分类号 |
B01D53/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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