发明名称 SURFACE TREATMENT OF SILICON WAFER
摘要
申请公布号 JPH06192861(A) 申请公布日期 1994.07.12
申请号 JP19920349882 申请日期 1992.12.01
申请人 PIYUARETSUKUSU:KK;TOSHIBA CORP 发明人 MURAOKA HISASHI
分类号 C23G1/02;G01N1/28;(IPC1-7):C23G1/02 主分类号 C23G1/02
代理机构 代理人
主权项
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