| 发明名称 |
A method and apparatus for treating a surface |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU650887(B2) |
申请公布日期 |
1994.07.07 |
| 申请号 |
AU19910080013 |
申请日期 |
1991.06.20 |
| 申请人 |
TELSTRA CORPORATION LIMITED |
发明人 |
GEOFFREY NORMAN PAIN |
| 分类号 |
C23C14/22;C23C16/44;C30B23/02;C30B25/02;C30B35/00;H01L21/20;(IPC1-7):C30B35/00 |
主分类号 |
C23C14/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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