METHOD FOR CLEANING ETCHING DEVICE,申请号JP19920350464-传众专利搜索

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发明名称	METHOD FOR CLEANING ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH06173041(A)	申请公布日期	1994.06.21
申请号	JP19920350464	申请日期	1992.12.02
申请人	NISSIN ELECTRIC CO LTD	发明人	AMAMIYA TORU
分类号	B08B6/00;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00	主分类号	B08B6/00
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