| 发明名称 |
OBSERVATION OF SIM IMAGE AND SECONDARY ION DETECTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06168692(A) |
申请公布日期 |
1994.06.14 |
| 申请号 |
JP19920321756 |
申请日期 |
1992.12.01 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MIZUMURA MICHINOBU;HAMAMURA YUICHI;AZUMA JUNZO;SHIMASE AKIRA;ITO FUMIKAZU |
| 分类号 |
H01J37/244;H01J37/252;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/244 |
主分类号 |
H01J37/244 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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