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发明名称 CRYSTAL DEFECT TESTING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH06124990(A) 申请公布日期 1994.05.06
申请号 JP19920272627 申请日期 1992.10.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 OTA HIROYUKI;OKAMOTO NORIAKI
分类号 G01N3/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N3/00
代理机构 代理人
主权项
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