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发明名称
FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH06108245(A)
申请公布日期
1994.04.19
申请号
JP19920280563
申请日期
1992.09.25
申请人
SUMITOMO METAL IND LTD
发明人
KANAO HIROTO;AKAHORI TAKASHI
分类号
C23C14/34;H01L21/203;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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