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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0690011(A) 申请公布日期 1994.03.29
申请号 JP19920238712 申请日期 1992.09.08
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 YAMADA OSAMU
分类号 H01L21/22;H01L29/861;(IPC1-7):H01L29/91 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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