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发明名称 FORMATION OF DIFFRACTION GRATING
摘要
申请公布号 JPH0669605(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920222654 申请日期 1992.08.21
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TSUBOTA TAKASHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01S5/00;(IPC1-7):H01S3/18 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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