发明名称 METHOD FOR METALLIZATION OF ELECTRODE OF TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH0629305(A) 申请公布日期 1994.02.04
申请号 JP19910260157 申请日期 1991.10.08
申请人 THOMSON CSF 发明人 SHIRUBEN DERAAJIYU;FUIRITSUPU KORO;MARII ANTOWANETSUTO POWASON
分类号 H01L21/28;H01L21/306;H01L21/331;H01L21/60;H01L29/73;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址