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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0621244(A) 申请公布日期 1994.01.28
申请号 JP19920172890 申请日期 1992.06.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TANI SATORU
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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