| 摘要 |
Bei einer interferentiell arbeitenden Dreigitter-Meßeinrichtung (0) gemäß Figur 1 werden durch mehrfache Beugung an Gittern (3, 3' und 4) räumlich getrennte Strahlenbündel (8, 9, 10) unterschiedlicher Beugung erzeugt. Für jeden Strahlengang (8, 9, 10) ist ein eigenes optisches Element (11, 12, 13) vorgesehen, welches in optimierter Weise seinen Strahlengang (8, 9, 10) auf einen zugeordneten Fotodetektor (5, 6, 7) fokussiert. <IMAGE>
|
