发明名称 Procédé de dépôt d'une matière semi-conductrice
摘要
申请公布号 FR1530884(A) 申请公布日期 1968.06.28
申请号 FR19670113641 申请日期 1967.07.07
申请人 T R W INC. 发明人
分类号 C23C14/14;C23C14/34;C23C14/58;C30B23/06 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
地址