| 发明名称 |
MICROWAVE PLASMA TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05308060(A) |
申请公布日期 |
1993.11.19 |
| 申请号 |
JP19920082360 |
申请日期 |
1992.04.03 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
ISHIDA HISANORI;SAGAWA SEIJI;NAKAMURA TSUYOSHI |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
