Process for the desensitization of 1,2-naphthoquinone-2-diazide-sulfonic acid esters.

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Phlegmatisierung von 1,2-Naphthochinon-2-diazid-sulfonsäureestern, die insbesondere zu Strahlungsempfindlichen Beschichtungslösungen für Halbleitersubstrate oder Druckplattenträgermaterialien verarbeitet werden. Das aus der Herstellung der 1,2-Naphthochinon-2-diazid-sulfonsäureester hervorgehende Reaktionsgemisch wird mit einem polymeren organischen Phlegmatisierungsmittel versetzt. Anschließend wird eine phlegmatisierte Mischung, bestehend im wesentlichen aus 1,2-Naphthochinon-2-diazid-sulfonsäureester und Polymerem Phlegmatisierungsmittel, aus dem Gemisch ausgefällt.