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发明名称 WAFERTRÄGER.
摘要
申请公布号 DE68906637(T2) 申请公布日期 1993.10.07
申请号 DE1989606637T 申请日期 1989.03.27
申请人 FLUOROWARE, INC., CHASKA, MINN., US 发明人 KOS, ROBERT, D., VICTORIA, MN 55386, US
分类号 B65D85/86;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/68 主分类号 B65D85/86
代理机构 代理人
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