| 发明名称 |
DEPOSITED FILM FORMING DEVICE AND FORMATION OF DEPOSITED FILM FOR MICROWAVE PLASMA CVD METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05247656(A) |
申请公布日期 |
1993.09.24 |
| 申请号 |
JP19910287040 |
申请日期 |
1991.10.07 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
YOSHINO TOSHIHITO;OKABE SHOTARO;FUJIOKA YASUSHI;YOSHISATO SUNAO;KANAI MASAHIRO;SAKAI AKIRA |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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