| 摘要 |
<p>Beschrieben wird System zum Einschleusen von Substraten in einen Reinstraum (100), mit einer Box (1) zur Aufnahme einer die Substrate (102) enthaltenden Kassette (101), mit einem die Box (1) hermetisch abschließenden Boxenboden (2), der in der Box (1) durch einen Verriegelungsmechanismus ver- und entriegelbar ist, wobei der Verriegelungsmechanismus eine im Boxenboden (2) drehbar gelagerte Schwenkscheibe (25) aufweist, die, vorzugsweise über Schubstangen (24a, 24b; 324a, 324b), Verriegelungselemente (21a, 21b; 321a, 321b) antreibt, welche in Verriegelungsschlitze (11a, 11b) der Box (1) eingreifen, und wobei die Schwenkscheibe (25) Eingriffsbohrungen (26a, 26b) aufweist, in die Verriegelungsbolzen (41a, 41b) einer in einem Schleusentor (4) angeordneten Drehscheibe (45) eingreifen, welche von einer Antriebsvorrichtung des Systems angetrieben eine die Ver- und Entriegelung des Boxenbodens (2) in der Box (1) auslösende Schwenkbewegung durchführt, mit einem Aufnahmerahmen (3) zur lagegenauen Ausrichtung der Box (1), und mit einem Arretiermechanismus zur Arretierung der Box (1) im Aufnahmerahmen (3). Erfindungsgemäß ist dabei vorgesehen, daß der Arretiermechanismus mechanisch mit der Drehscheibe (45) gekoppelt ist, derart, daß eine die Verriegelung des Boxenbodens (2) in der Box (1) auslösende Schwenkbewegung der Schwenkscheibe (25) eine Aufhebung der Arretierung der Box (1) im Aufnahmerahmen (3) bewirkt, und daß eine die Entriegelung des Boxenbodens (2) in der Box (1) auslösende Schwenkbewegung der Drehscheibe (45) eine Arretierung der Box (1) im Aufnahmerahmen (3) bewirkt.</p> |
