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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0561783(B2) 申请公布日期 1993.09.07
申请号 JP19870219916 申请日期 1987.09.02
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 YOSHIKAWA KUNYOSHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/316;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;H01L29/78;H01L39/02;H01L39/06;(IPC1-7):H01L29/784;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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