发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05226286(A) 申请公布日期 1993.09.03
申请号 JP19920030999 申请日期 1992.02.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIMIZU SATOSHI
分类号 H01L21/288;C25D7/12;H01L21/337;H01L29/808 主分类号 H01L21/288
代理机构 代理人
主权项
地址