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发明名称 ALPHA PARTICLE DISTURB REDUCTION TECHNIQUES
摘要
申请公布号 EP0547989(A3) 申请公布日期 1993.09.01
申请号 EP19920480171 申请日期 1992.11.19
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CHIDAMBARRAO, DURESETI;NIJHUIS, ROLF HENK;SRINIVASAN, GURUMAKONDA RAMASAMIENGAR;MURLEY, PHILIP CLYDE;ROBBINS, GORDON JAY;WALTERS, TIMOTHY LAWTON
分类号 H01L23/522;H01L21/60;H01L21/768;H01L23/49;H01L23/556;(IPC1-7):H01L23/556 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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