发明名称 FORMATION OF CONNECTION STRUCTURE AND FORMATION OF ELECTRONIC MATERIAL USING THE FORMATION OF CONNECTION STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH05217935(A) 申请公布日期 1993.08.27
申请号 JP19920040122 申请日期 1992.01.30
申请人 SONY CORP 发明人 KOBAYASHI KAZUYOSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址