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发明名称 SILIZIUM-MIKRO-WANDLER UND HERSTELLUNGSVERFAHREN DAZU.
摘要
申请公布号 DE68907643(D1) 申请公布日期 1993.08.26
申请号 DE19896007643 申请日期 1989.05.08
申请人 SHARP K.K., OSAKA, JP 发明人 FURUBAYASHI, HISATOSHI, YAMATO KOURIYAMA-SHI NARA, JP;INAMI, YASUKIKO, NARA-SHI NARA, JP
分类号 H01L21/306;G01L1/18;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/06 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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