发明名称 SINGLE CRYSTAL GROWING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05208891(A) 申请公布日期 1993.08.20
申请号 JP19920163916 申请日期 1992.05.29
申请人 SONY CORP 发明人 SUZUKI TOSHIHIKO;HOSHI KINJI;IZAWA NOBUYUKI;OKUBO YASUNORI
分类号 C30B15/14;H01L21/208 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
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