| 发明名称 |
METHOD FOR DIAMOND DEPOSITION COATING OF MICROWAVE PLASMA CVD SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05195225(A) |
申请公布日期 |
1993.08.03 |
| 申请号 |
JP19920216862 |
申请日期 |
1992.08.14 |
| 申请人 |
SANDVIK AB |
发明人 |
SUTAFUAN SEEDERUBERUI;HAMIDO SHIYAHANI;MATOSU SHIEESUTORANDO |
| 分类号 |
B23B27/14;B23P15/28;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/458;C23C16/50;C23C16/511;C30B29/04;H01L21/00 |
主分类号 |
B23B27/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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