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发明名称 METHOD OF FORMING METAL PLUG
摘要
申请公布号 JPH05152250(A) 申请公布日期 1993.06.18
申请号 JP19910335477 申请日期 1991.11.26
申请人 SONY CORP 发明人 MIYAMOTO TAKAAKI
分类号 H01L21/28;H01L21/283;H01L21/285 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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