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发明名称 METHOD FOR DETECTING DUST GENERATING PART IN HIGHLY VACUUM APPARATUS FOR MANUFACTURING IC
摘要
申请公布号 JPH05144918(A) 申请公布日期 1993.06.11
申请号 JP19910331463 申请日期 1991.11.20
申请人 NEC CORP 发明人 OKUMURA HIROYUKI
分类号 G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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