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发明名称 OPTICAL GAP MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05141926(A) 申请公布日期 1993.06.08
申请号 JP19910307950 申请日期 1991.11.22
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SEKIGUCHI HIDENORI;KAMATA TORU;SAKATA YUJI;TABATA FUMIO
分类号 G01B11/14;H01L21/66 主分类号 G01B11/14
代理机构 代理人
主权项
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