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发明名称 Broad beam flux density control
摘要
申请公布号 US5218210(A) 申请公布日期 1993.06.08
申请号 US19920837277 申请日期 1992.02.18
申请人 EATON CORPORATION 发明人 MCINTYRE, JR., EDWARD K.;BENVENISTE, VICTOR M.;HRYNYK, WALTER
分类号 C23C14/48;C23C14/54;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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