| 发明名称 |
HIGH TEMPERATURE HEATING SPUTTERING PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0297521(B1) |
申请公布日期 |
1993.05.26 |
| 申请号 |
EP19880110337 |
申请日期 |
1988.06.29 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
INOUE, MINORU HAINESU MIZONOKUCHI 213 |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/35;C23C14/52;C23C14/54;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/3205 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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