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发明名称 MOLECULAR BEAM CRYSTAL GROWING APPARATUS AND PROCESS FOR MOLECULAR BEAM CRYSTAL GROWTH USING THE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05117081(A) 申请公布日期 1993.05.14
申请号 JP19910127762 申请日期 1991.05.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IMANISHI KENJI
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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