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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0567581(A) 申请公布日期 1993.03.19
申请号 JP19910225833 申请日期 1991.09.05
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 TANPO TOSHIHARU
分类号 H01L21/265;H01L21/318;H01L21/324;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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