发明名称 |
PROCESS FOR THE PRODUCTION OF ELECTROLUMINESCENT SILICON FEATURES |
摘要 |
On décrit un procédé pour la fabrication de structures électroluminescentes en silicium qui comprend les opérations suivantes: immersion d'une pastille de silicium dans un bain acide; anodisation de la pastille de silicium dans le bain acide; éclairage de la pastille de silicium sur sa face anodique pendant une partie au moins du temps pendant lequel elle est immergée dans le bain acide et anodisée, opération par laquelle le silicium monocristallin de la pastille de silicium est transformé, dans certaines zones au moins, en une couche microporeuse de silicium; création de deux contacts (13, 14) au moyen desquels une tension peut être appliquée à la couche microporeuse de silicium (10). |
申请公布号 |
WO9304503(A1) |
申请公布日期 |
1993.03.04 |
申请号 |
WO1992DE00598 |
申请日期 |
1992.07.20 |
申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWAND |
发明人 |
RICHTER, AXEL;STEINER, PETER;LANG, WALTER |
分类号 |
H01L21/306;H01L21/3063;H01L33/00;H01L33/34;H01L33/42 |
主分类号 |
H01L21/306 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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