发明名称 PROCESS FOR THE PRODUCTION OF ELECTROLUMINESCENT SILICON FEATURES
摘要 On décrit un procédé pour la fabrication de structures électroluminescentes en silicium qui comprend les opérations suivantes: immersion d'une pastille de silicium dans un bain acide; anodisation de la pastille de silicium dans le bain acide; éclairage de la pastille de silicium sur sa face anodique pendant une partie au moins du temps pendant lequel elle est immergée dans le bain acide et anodisée, opération par laquelle le silicium monocristallin de la pastille de silicium est transformé, dans certaines zones au moins, en une couche microporeuse de silicium; création de deux contacts (13, 14) au moyen desquels une tension peut être appliquée à la couche microporeuse de silicium (10).
申请公布号 WO9304503(A1) 申请公布日期 1993.03.04
申请号 WO1992DE00598 申请日期 1992.07.20
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWAND 发明人 RICHTER, AXEL;STEINER, PETER;LANG, WALTER
分类号 H01L21/306;H01L21/3063;H01L33/00;H01L33/34;H01L33/42 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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