发明名称 CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0551745(A) 申请公布日期 1993.03.02
申请号 JP19910215107 申请日期 1991.08.27
申请人 OSAKA GAS CO LTD 发明人 INOUE NAOKI;NAKAOKA HARUYUKI;AZUMA HIDEKI;DOI SHOJI
分类号 C23C16/44;C23C16/455 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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