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发明名称
SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号
JPH0534228(A)
申请公布日期
1993.02.09
申请号
JP19910216334
申请日期
1991.08.01
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
YUMOTO HIROYUKI;ISHIBASHI KIYOSHI
分类号
G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84
主分类号
G01L9/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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